用于半导体加工的**精密XY真空平台。

时间：2022-10-21浏览数：95

nanomotion用于半导体加工的**精密XY真空平台。

行程**过500mm，编码器分辨率为0.1nm，定位精度为±2nm。10小时以上定位稳定性达到1nm。


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